Ebenheit ist eine Formtoleranz nach ISO 1101, die die zulässige Abweichung einer Planfläche von der idealen Ebene definiert. Die Toleranzzone besteht aus zwei parallelen Ebenen im definierten Abstand.
Ebenheitsabweichungen entstehen durch Spannungsverzug, thermische Verformung oder Bearbeitungsfehler. Die Messung erfolgt mit Haarlinealen, Messplatten oder Koordinatenmessmaschinen. Ebenheit ist kritisch für Dicht- und Anlageflächen, Führungen und Werkzeugauflagen. Typische Werte beim Fräsen liegen bei 10-50 µm, beim Flachschleifen unter 5 µm.
